Полисиликонду даярдоо ыкмасы.

1. Жүктөө

Капталган кварц тигелин жылуулук алмашуу столуна коюп, кремний чийки затын кошуп, андан кийин жылытуу жабдууларын, изоляциялык жабдууларды жана мештин капкагын орнотуңуз, мештеги басымды 0,05-0,1мбарга чейин төмөндөтүү үчүн мешти эвакуациялаңыз жана вакуумду кармап туруңуз. Мештеги басымды негизинен 400-600мбардын тегерегинде кармап туруу үчүн аргонду коргоочу газ катары киргизиңиз.

2. Жылытуу

Мештин корпусун жылытуу үчүн графит жылыткычты колдонуңуз, адегенде графит тетиктеринин, изоляциялык катмардын, кремний чийки затынын жана башкалардын бетине адсорбцияланган нымдуулукту бууландырыңыз, андан кийин кварц тигелинин температурасы болжол менен 1200-1300 градуска жетүүсү үчүн жай ысытыңыз.℃. Бул процесс 4-5 саатка созулат.

3. Эрүү

Мештеги басымды негизинен 400-600мбардын тегерегинде кармап туруу үчүн аргонду коргоочу газ катары киргизиңиз. Тигельдеги температураны болжол менен 1500гө ылайыкташтыруу үчүн жылытуу күчүн акырындык менен көбөйтүңүз℃, жана кремний чийки зат эрий баштайт. 1500 ге жакын℃эрүү процессинде эрүү аяктаганга чейин. Бул процесс 20-22 саатка созулат.

4. Кристаллдын өсүшү

Кремний чийки заты эригенден кийин, ысытуу күчү тигелдин температурасын болжол менен 1420-1440 чейин төмөндөтөт.℃кремнийдин эрүү чекити болуп саналат. Андан кийин кварц тигели акырындап ылдый карай жылыйт, же изоляциялык түзүлүш акырындык менен көтөрүлөт, ошентип кварц тигел жылытуу зонасынан жай чыгып, айлана менен жылуулук алмашууну түзөт; ошол эле учурда муздаткыч пластинка аркылуу суу түбүнөн эритиндисинин температурасын төмөндөтүү үчүн өткөрүлөт жана кристаллдык кремний алгач түбүндө пайда болот. Өсүү процессинде катуу-суюктук интерфейси кристаллдын өсүшү аяктаганга чейин горизонталдык тегиздикке параллель бойдон калат. Бул процесс 20-22 саатка созулат.

5. Жылуулоо

Кристаллдын өсүшү аяктагандан кийин, кристаллдын түбү менен үстүнкү ортосундагы чоң температура градиентине байланыштуу, куймада жылуулук стресс болушу мүмкүн, ал кремний пластинасын жылытууда жана батареяны даярдоодо кайра бузулуу оңой. . Ошондуктан, кристаллдык өсүү аяктагандан кийин кремний куймасынын температурасын бирдей кылуу жана термикалык стрессти азайтуу үчүн 2-4 саат эрүү температурасына жакын жерде кармалат.

6. Муздатуу

Кремний куймасы меште күйгүзүлгөндөн кийин, жылытуу күчүн өчүрүңүз, жылуулук изоляциялоочу түзүлүштү көтөрүңүз же кремний куймасын толугу менен төмөндөтүңүз жана кремний куймасынын температурасын акырындык менен төмөндөтүү үчүн мешке аргон газынын чоң агымын киргизиңиз. бөлмө температурасы; ошол эле учурда мештеги газдын басымы атмосфералык басымга жеткенге чейин акырындык менен жогорулайт. Бул процесс 10 саатка жакын убакытты алат.